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薄膜輪廓與粗糙度測(cè)量
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F10-RTFilmetrics薄膜厚度測(cè)量?jī)x
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P-7KLA 探針式臺(tái)階儀
Zeta-20KLA 白光共聚焦顯微鏡
AFSEMNanosurf 真空環(huán)境用原子力顯微鏡
3D白光干涉輪廓儀
LA-960V2HORIBA 激光粒徑分布分析儀
CN-300HORIBA 離心式納米粒度分析