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Filmetrics F54-XYT-300 自動測量光學(xué)膜厚儀借助F54-XYT-300的光譜反射系統(tǒng)，可以快速輕松地測量200 x 200mm樣品的薄膜厚度。電動XY工作臺自動移動到選定的測量點并提供快速的厚度測量，速度達(dá)到每秒兩點。

型號：F54-XYT-300

更新日期：2025-06-24

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HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀是一種新型薄膜測量工具。僅需簡單的幾個按鈕，幾秒鐘內(nèi)即可自動完成樣品測量和分析，并提供完整的薄膜特性分析報告，包括薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)、表面粗糙度和薄膜的不均勻性、反射率或透過率。它是用于快速薄膜測量和器件質(zhì)量控制的解決方案。專為薄膜測量設(shè)計，一鍵式操作實現(xiàn)高效率。

型號：Auto SE

更新日期：2025-06-24

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HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀是一種薄膜測量工具。僅需簡單的幾個按鈕，幾秒鐘內(nèi)即可自動完成樣品測量和分析，并提供完整的薄膜特性分析報告，包括薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)、表面粗糙度和薄膜的不均勻性、反射率或透過率。它是用于快速薄膜測量和器件質(zhì)量控制的解決方案。為薄膜測量設(shè)計，一鍵式操作。

型號：Smart SE

更新日期：2025-06-24

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HORIBA UVISEL Plus 相位調(diào)制型橢圓偏振光譜儀基于新版的電子設(shè)備，數(shù)據(jù)處理和高速單色儀，F(xiàn)astacq技術(shù)能夠為用戶提供高分辨及快速的數(shù)據(jù)采集。FastAcq為薄膜表征特殊設(shè)計，雙調(diào)制技術(shù)使您可以獲得完整的測試結(jié)果。相位調(diào)制與消色差光學(xué)設(shè)計的結(jié)合提供了特別的膜厚測試效果。配備雙單色儀系統(tǒng)的特殊設(shè)計滿足用戶的期望值，通過模塊化的設(shè)計，更多的附件選擇，使得儀器使用能變得靈活。

型號：UVISEL Plus

更新日期：2025-06-24

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Filmetrics F32 光反射式膜厚儀特殊的光譜分析系統(tǒng)采用半寬的3u rack- mount底盤，加上附加的分光計，可達(dá)到四個不同的位置(EXR和UVX版本至多兩個位置)。F32膜厚儀軟件可以通過數(shù)字I/O或主機軟件來控制啟動/停止/復(fù)位測量。測量數(shù)據(jù)可以自動導(dǎo)出到主機軟件中進(jìn)行統(tǒng)計過程控制。還提供可選的透鏡組件，以便于集成到現(xiàn)有的生產(chǎn)裝置上。

型號：F32

更新日期：2025-06-24

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Film Sense FS-8多波長橢偏儀采用壽命長 LED 光源和非移動 式部件橢偏探測器，可在操作簡單的緊湊型橢偏儀中實現(xiàn)可靠地薄膜測量。大多數(shù)厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要簡單的 1 秒測量，就可以獲得準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)。還可以測量大多數(shù)樣品的光學(xué)常數(shù)和其他薄膜特性。

型號：FS-8

更新日期：2025-06-25

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Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀就像我們的F50白光干涉膜厚測量儀產(chǎn)品一樣。主要測繪薄膜厚度和折射率。但它增加了許多用于生產(chǎn)環(huán)境的功能。這些功能包括凹槽自動檢測、自動基準(zhǔn)確定、全封閉測量平臺、預(yù)裝軟件的工業(yè)計算機，以及可以升級到全自動化晶圓傳輸?shù)臋C型。

型號：F60-t

更新日期：2025-06-25

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Filmetrics F54 白光干涉膜厚測量儀能以一個電動R-Theta平臺自動移動到選定的測量點以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度, 樣品直徑達(dá)450毫米，可選擇數(shù)十種內(nèi)建之同心圓,矩形,或線性圖案模式,或自行建立無數(shù)量限制之測量點.只需具備基本電腦技能，就可在數(shù)分鐘內(nèi)自行建立配方。

型號：F54

更新日期：2025-06-24

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