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HORIBA 橢圓偏振光譜儀

簡要描述:HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀是一種新型薄膜測量工具。僅需簡單的幾個按鈕,幾秒鐘內即可自動完成樣品測量和分析,并提供完整的薄膜特性分析報告,包括薄膜厚度、光學常數、表面粗糙度和薄膜的不均勻性、反射率或透過率。它是用于快速薄膜測量和器件質量控制的解決方案。專為薄膜測量設計,一鍵式操作實現(xiàn)高效率。

  • 產品型號:Auto SE
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2025-06-24
  • 訪  問  量:2261
產品詳情

HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀




HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀產品介紹:

HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀是一種新型薄膜測量工具。僅需簡單的幾個按鈕,幾秒鐘內即可自動完成樣品測量和分析,并提供完整的薄膜特性分析報告,包括薄膜厚度、光學常數、表面粗糙度和薄膜的不均勻性、反射率或透過率。它是用于快速薄膜測量和器件質量控制的解決方案。專為薄膜測量設計,一鍵式操作實現(xiàn)高效率。



HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀產品特點:

  • 可在450nm~1000nm波長內實現(xiàn)快速測量(<1秒)

  • 多種光斑尺寸軟件選擇

  • 自動裝載和調整樣品高度(需自動平臺)

  • 大面積自動成像(需自動平臺)

  • 溫控臺、液體樣品池、電化學反應池、

  • 密封氣體池、透過率曲線測量等多種附件




HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀產品優(yōu)勢:

光斑可視系統(tǒng)HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀具備MyAutoView光斑可視系統(tǒng),可清晰觀察光滑或粗糙的樣品表面,保證用戶可將測量光斑準確定位在樣品目標上的測量位置。


大樣品成像選項HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀配備自動平臺,方便定位測量樣品上微結構的位置,可對不均勻大樣品片進行mapping成像。


智能診斷:HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀儀器維護非常簡單,借助完整的操作向導,自動檢測并診斷問題,對故障進行處理



HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀產品測量原理:

HORIBA Auto SE 橢偏儀是利用薄膜的光學特性進行膜厚測量的非接觸測量方法。基于偏振光反射或透射時的狀態(tài)變化來測量薄膜的厚度和折射率。當偏振光照射到薄膜表面時,反射光或透射光的偏振狀態(tài)會發(fā)生變化,這種變化依賴于薄膜的厚度、折射率以及入射光的偏振狀態(tài)和角度。通過分析這些變化,可以準確地推導出薄膜的厚度。



HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀軟件:

HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀軟件DeltaPsi2功能強大,它基于WindowsT操作系統(tǒng),充分利用了HORIBA Scientific(JobinYvon光譜技術)橢偏儀硬件技術的優(yōu)勢,具有眾多的建模和擬合處理功能,以及簡單的操作界面,可為研究者提供便捷的橢偏分析手段。

  • 梯度膜層

  • 粗糙度或界面

  • 材料組份/結晶度

  • 各向異性膜層

  • 薄膜厚度的不均勻性

  • 退偏因子

  • 與材料模型公式相關的完整的屬性數據庫

  • 對于厚透明樣品基底背景光的自動修正

  • 周期變化結構

  • 用戶超薄薄膜應用的BLMC算法

  • 多重猜測、多重初值、多重模型、相關性……




HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀常見應用:

界面特性

表面測量

光學特性

厚度測量

非晶硅、多晶硅

粗糙度

光學常數(n,k)

從幾埃到15um

納米晶體硅

自然氧化物厚度

光學帶隙Eg

單層和多層膜

透明導電氧化物

表面薄膜厚度

透射率


增透膜

退偏系數



半導體

平板顯示

功能性涂料

生物和化學工程

介電薄膜

TFT

光學涂層

有機薄膜

金屬薄膜

OLED

增透型、自清潔型

薄膜吸附

高分子、光刻膠

等離子顯示板

表面鍍膜和處理

表面功能處理

PZT膜

柔性顯示板

有機材料




HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀產品參數:

光斑尺寸

500µmX500µm,250µmX250µm,

100µmX100µm,250µmX500µm,

70µmX250µm*,50µmX60µm*,

25µmX60µm*

測試時間:

5s,Max1s

可視系統(tǒng):

MyAutoView

Psi,Delta

測試精度:

Ψ=45°±0.05°-Δ=0°±0.2°

折射率重復性

n±0.001(1σ)

厚度重復性:

d±0.1?或0.01%(1σ)

樣品臺尺寸:

200mm-200mm



HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀測量圖:




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