
KLA 四探針電阻率測量儀
簡要描述:KLA R50 四探針電阻率測繪系統(tǒng)是KLA電阻測試系列的產(chǎn)品。電阻測量和監(jiān)控對于任何使用導(dǎo)電薄膜的行業(yè)都相當(dāng)重要,從半導(dǎo)體制造到可穿戴技術(shù)所需的柔性電子產(chǎn)品。KLA R50 四探針電阻率測量儀在金屬膜均勻性分布、離子摻雜和注入表征、薄膜厚度和電阻率分布、以及非接觸膜厚等量測領(lǐng)域均可涉及。
產(chǎn)品型號:R50
廠商性質(zhì):代理商
更新時間:2025-06-24
訪 問 量:1338
KLA R50 四探針電阻率測量儀
KLA R50 四探針電阻率測量儀產(chǎn)品介紹:
KLA R50 四探針電阻率測繪系統(tǒng)是KLA電阻測試系列的產(chǎn)品。電阻測量和監(jiān)控對于任何使用導(dǎo)電薄膜的行業(yè)都相當(dāng)重要,從半導(dǎo)體制造到可穿戴技術(shù)所需的柔性電子產(chǎn)品。KLA R50 四探針電阻率測量儀在金屬膜均勻性分布、離子摻雜和注入表征、薄膜厚度和電阻率分布、以及非接觸膜厚等量測領(lǐng)域均可涉及。
KLA R50 四探針電阻率測量儀優(yōu)勢:
接觸式四點探針(4PP)和非接觸式電渦流(EC)配置;
100mmZ行程,高精度控制;
導(dǎo)體和半導(dǎo)體薄膜電阻,10個數(shù)量級范圍適用;
測試點自定義編輯,包括矩形、線性、極坐標(biāo)以及自定義配置;
200mmXY電動平臺;
RSMapper軟件靈活易用;
兼容KLA所有薄膜電阻測量探針;
KLA R50 四探針電阻率測量儀測量原理:
四點探針(4PP)由四個導(dǎo)電探針組成的探頭以可控力接觸導(dǎo)電層表面,其中在被測導(dǎo)電層和襯底之間有非導(dǎo)電阻擋層。標(biāo)準(zhǔn)測量的探針配置是在兩個外側(cè)探針之間施加電流并在兩個內(nèi)側(cè)探針之間測量電壓。測量薄膜電阻時,導(dǎo)電層厚度應(yīng)小于兩個探針之間距離的1/2。KLA在R50四探針電阻率測量儀上研發(fā)了雙模技術(shù),該技術(shù)允許測量間隔探針上的電壓,并配置了邊界效應(yīng)動態(tài)校正和探針間距誤差補償功能。KLA提供了豐富的探針類型以適用和優(yōu)化不同表面材料的特性表征測量,幾乎可用于任何導(dǎo)電薄膜或離子注入層。
電渦流(EC)是非接觸式導(dǎo)電薄膜測量技術(shù)。通過線圈施加時變電流以產(chǎn)生時變磁場,當(dāng)該磁場靠近導(dǎo)電表面時,會在該表面中產(chǎn)生感應(yīng)時變電流(渦流)。這些電渦流反過來會產(chǎn)生它們自己的時變磁場,該磁場與探針線圈耦合并產(chǎn)生與樣品的電阻成比例的信號變化。KLA特殊的EC技術(shù),單個探頭位于樣品頂部,可以動態(tài)的調(diào)整每個測量點的探頭高度,這對測量的準(zhǔn)確性和重復(fù)性相當(dāng)重要。EC法不受探頭尺寸或表面氧化的影響,非常適合較軟的或其它不適用于4PP接觸法測量的樣品。
KLA R50 四探針電阻率測量儀行業(yè)應(yīng)用:
半導(dǎo)體 | 平板和VR顯示 | 化合物半導(dǎo)體 | 先進封裝 |
太陽能 | 印刷電路 | 穿戴設(shè)備 | 導(dǎo)電材料 |
KLA R50 四探針電阻率測量儀產(chǎn)品應(yīng)用:
一、金屬薄膜均勻性
金屬薄膜的薄膜電阻均勻性對于確保元件性能相當(dāng)重要,大多數(shù)金屬薄膜都可以通過4PP和EC進行測量。EC推薦用于較厚的高導(dǎo)電金屬膜,4PP適用于較薄的金屬膜(>10Ω/sq),但無論如何,4PP/EC均表現(xiàn)出很高相關(guān)性,從而可以確保使用任何一種方法都可以獲得準(zhǔn)確的結(jié)果。KLA R50 四探針電阻率測量儀電阻分布圖可以表征薄膜均勻性、沉積質(zhì)量及其它工藝波動。
二、離子注入表征
4PP法是衡量離子注入工藝的標(biāo)準(zhǔn)測量技術(shù)。在熱退火后通過測試離子注入分布可以識別由于燈故障、晶圓/平臺接觸不良或注入劑量變化而引起的熱點和冷點。對于硅離子注入層,熱退火工藝對于活化摻雜離子是必要的。
三、薄膜厚度/電阻率/薄膜電阻
通過采集的晶圓數(shù)據(jù),KLA R50 四探針電阻率測量儀可以繪制出薄膜電阻、薄膜厚度或電阻率分布圖。通過輸入材料的電阻率,可以計算和顯示膜厚分布;或者通過輸入膜厚數(shù)據(jù),則可以計算電阻率分布。
四、數(shù)據(jù)采集和可視化
KLA R50 四探針電阻率測量儀的RSMapper軟件將數(shù)據(jù)采集和強大的分析功能結(jié)合在一起,擁有直觀的可視化界面,即可以用于設(shè)備本身,也可以進行離線使用。軟件自帶的各種坐標(biāo)布局工具可以幫助用戶輕松設(shè)置數(shù)據(jù)測量點。
KLA R50 四探針電阻率測量儀產(chǎn)品參數(shù):
Z范圍: | 60mm | Z平臺類型: | 自動 |
X-Y平臺類型: | 自動 | 樣品臺最大承重: | 2.5kg |
傾斜樣品臺: | ±5°手動 | ||
電學(xué)性能 | |||
R50-4PP | R50-EC | ||
測量點重復(fù)性: | <0.02% | <0.2% | |
準(zhǔn)確性: | ±0.2% | ±1% | |
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