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KLA Profilm3D 是一款3D白光干涉輪廓儀。KLA Profilm3D 光學輪廓儀使用垂直干涉掃描(WLI)技術(shù)與相位干涉(PSI)技術(shù)。以較低的價格實現(xiàn)次納米級的表面形貌研究。采用白光干涉原理，不損傷樣品。

型號：Profilm3D

更新日期：2025-06-25

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KLA P-7 探針式臺階儀是KLA公司的探針式臺階儀系統(tǒng)。KLA P-7 探針式表面輪廓儀建立在P-17臺式探針輪廓分析系統(tǒng)的成功基礎(chǔ)之上。它保持了P-17技術(shù)的測量性能，并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了性價比。KLA P-7 探針式臺階儀可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進行2D和3D測量，其掃描可達150mm而無需圖像拼接。

型號：P-7

更新日期：2025-06-25

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KLA Zeta-20白光共聚焦顯微鏡基于ZDot技術(shù)而來。Zeta-20 白光共聚焦顯微鏡可以對大部分材料和結(jié)構(gòu)進行成像分析，從光滑到高粗糙度、低反射率到高反射率表面、透明到不透明介質(zhì)。KLA Zeta-20白光共聚焦顯微鏡使用模塊化設(shè)計理念，為用戶提供了一系列的硬件和軟件選項來滿足各種不同的測量需求，所有硬件安裝和操作都簡單易用。

型號：Zeta-20

更新日期：2025-06-25

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Nanosurf AFSEM 真空環(huán)境用原子力顯微鏡由GETec與Nanosurf提供,讓您能輕松地聯(lián)合兩種功能強大的分析工具，原子力顯微鏡(AFM)與掃描電子顯微鏡(SEM)，構(gòu)造真實的三維表面形貌，精確地測量高度信息、距離信息甚至材料屬性，但同時保持了在SEM的大范圍視場里定位AFSEM懸臂梁到您想要測量的準確位置上。進而大大地擴展了您的相關(guān)顯微鏡測量與分析的可行性。

型號：AFSEM

更新日期：2025-06-25

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Nanosurf Flex-ANA 自動力譜成像原子力顯微鏡是基于原子力顯微鏡納米力學分析的自動化解決方案。它旨在以直觀和自動化的方式通過力譜和力圖研究多種或大型樣品上的材料（例如細胞，組織，支架，水凝膠和聚合物）的納米力學性能。對于多個樣品或者大起伏樣品有優(yōu)勢。

型號：Flex-ANA

更新日期：2025-06-25

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KLA Zeta-388光學輪廓儀是非接觸式三維表面形貌測量系統(tǒng)。該系統(tǒng)在Zeta-300光學輪廓儀的基礎(chǔ)上，增加了用于全自動測量的機械手臂操作系統(tǒng)。Zeta-388光學輪廓儀采用ZDot技術(shù)和多模組光學系統(tǒng)，可測量各種不同的樣品：包括透明與不透明、低至高反射率、光滑到粗糙的表面，以及亞納米級到毫米級的臺階高度。

型號：Zeta-388

更新日期：2025-06-25

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KLA P-170 全自動探針式表面輪廓儀一款盒對盒型臺階儀，具有KLA P-17 探針式表面輪廓儀的臺式系統(tǒng)測量性能和HRP260系統(tǒng)經(jīng)生產(chǎn)驗證的處理程序。該系統(tǒng)提供了一個可編程的掃描平臺、低噪音和整個垂直范圍內(nèi)的亞安格倫電子分辨率，可以在樣品表面的任何地方進行高分辨率掃描。

型號：P-170

更新日期：2025-06-25

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KLA P-17 探針式臺階儀是P系列探針式臺階儀的產(chǎn)品。該系統(tǒng)具備可編程掃描平臺、低噪聲電子分辨率，垂直范圍內(nèi)實現(xiàn)高分辨率掃描，能夠覆蓋樣品表面整個區(qū)域。KLA P-17 探針式臺階儀的優(yōu)點包括200mm掃描平臺，可以在無需拼接的情況下測量整個基片。UltraLite傳感器組件結(jié)合了線性垂直測量和恒定力控制，可測量各種材料和地形。

型號：P-17

更新日期：2025-06-25

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